南京大學2025年9至10月政府采購意向-原子層薄膜制備設備詳細情況
原子層薄膜制備設備
項目所在采購意向：南京大學2025年9至10月政府采購意向
采購單位：（略）
采購項目名稱：（略）
預算金額：380.000000萬元(人民幣)
采購品目：A（略）真空獲得設備
采購需求概況：南京大學擬采購原子層薄膜制備設備ALD一臺，用于NbN,TiN,AlN薄膜的原子層制造。主要采購需求如下：1、雙腔結構，樣品傳送腔，薄膜制備腔；2、最大容納8inch晶圓；3、超薄薄膜的不均度小于一個方差；4、具有NbN薄膜制備工藝；5、（略）：工藝氣體不低于5路；6、自動控制；7、質保期：驗收合格后一年。
預計采購時間：2025-10
備注：
本次公開的采購意向是本單位：（略）