基本信息
（略）（略）90003項目分類其它
建設單位：（略）
項目所在（略）
（略）（略）-（略）立項級（略）級
立項批復機關（略）發(fā)展和改革委員會立項批復時間（略）:00:00
總投資（萬元）6000總面積/長度（平方米/米）0
建設規(guī)模項目建設主要用于購置研發(fā)EUV光源所需的設備。與驅動光源相關的設備包括：高功率脈沖固體激光器、高功率閾值光學鏡片。與EUV收集相關的設備包括：大口徑橢球面鉬/硅多層膜反射鏡、小口徑球面鉬/硅多層膜反射鏡、EUV濾光片、碎屑防護薄膜。與真空腔相關的設備包括：真空腔體、機械泵、分子泵、真空計。（略）包括：高速相機、照明激光器、延時器、（略）源、光學元件。液滴靶發(fā)生器相關的設備包括：壓電陶瓷、微米級噴嘴、高純度錫。（略）包括：EUV光譜儀、EUV光電二極管、法拉第杯、拉繆爾探針。建設性質
工程用途計劃開工日期
數(shù)據(jù)等級B