富樂德（略）域TFT設(shè)備/半導(dǎo)體設(shè)備
精密再生修復(fù)項(xiàng)目竣工
環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收監(jiān)測(cè)報(bào)告表
建設(shè)單位：（略）
編制單位：（略）
2023年4月富樂德（略）域TFT設(shè)備/半導(dǎo)體設(shè)備精密再生修復(fù)項(xiàng)目
竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收監(jiān)測(cè)報(bào)告表
建設(shè)單位：（略）
編制單位：（略）
項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：林瑞芬
建設(shè)單位：（略）
（蓋章）
編制單位：（略）
（蓋章）
電話：
電話：
郵編：510730
郵編：510535
地址：（略）
地址：（略）
一、項(xiàng)目情況
建設(shè)項(xiàng)目名稱：（略）
富樂德（略）域TFT設(shè)備/半導(dǎo)體設(shè)備精密再生修復(fù)項(xiàng)目
建設(shè)單位：（略）
（略）
建設(shè)項(xiàng)目性質(zhì)
新建√
改擴(kuò)建
技改
遷建
建設(shè)地點(diǎn)：（略）
（略）
主要產(chǎn)品名稱：（略）
清洗修復(fù)半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備精密部、清洗修復(fù)TFT生產(chǎn)設(shè)備精密部件
設(shè)計(jì)生產(chǎn)能力
年清洗修復(fù)半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備精密部件52.5萬件、清洗修復(fù)TFT生產(chǎn)設(shè)
備精密部件143萬件
實(shí)際生產(chǎn)能力
年清洗修復(fù)半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備精密部件52.5萬件、清洗修復(fù)TFT生產(chǎn)設(shè)
備精密部件143萬件
建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)
時(shí)間
2021年7月
開工建設(shè)時(shí)間
2022年6月
調(diào)試時(shí)間
2022年7月
驗(yàn)收現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)測(cè)
時(shí)間
2023年4月
環(huán)評(píng)報(bào)告表
審批部門
廣州（略）行政審
批局
環(huán)評(píng)報(bào)告表
編制單位：（略）
廣州開投生態(tài)環(huán)境建設(shè)有限
（略）
環(huán)保設(shè)施設(shè)計(jì)
單位：（略）
上海朗蔚環(huán)?？萍?
（略）
環(huán)保設(shè)施施工
單位：（略）
（略）
投資總概算
30000萬元
環(huán)保投資總
概算
1030萬元
比例
3.43%
投資總概算
30000萬元
環(huán)保投資總
概算
1030萬元
比例
3.43%
驗(yàn)收監(jiān)測(cè)依據(jù)
（1）《中華人民共和國(guó)環(huán)境保護(hù)法》（2015年1月1日起施行）；
（2）《中華人民共和國(guó)環(huán)境影響評(píng)價(jià)法》（2018年12月29日修
訂）；
（3）《中華人民共和國(guó)水污染防治法》（2018年1月1日起施行）；
（4）《中華人民共和國(guó)大氣污染防治法》（2018年10月26日修
正版）；
（5）《中華人民共和國(guó)噪聲污染防治法》（2022年6月5日起施
行）；
（6）《中華人民共和國(guó)固體廢物污染環(huán)境防治法》（中華人民共
和國(guó)主席令第43號(hào)，2020年9月1日起施行）；
（7）《關(guān)于進(jìn)一步加強(qiáng)建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理工作的通知》（國(guó)
家環(huán)保總局，環(huán)發(fā)（2001）19號(hào)）；2
驗(yàn)收監(jiān)測(cè)依據(jù)
（8）《關(guān)于進(jìn)一步加強(qiáng)環(huán)境影響評(píng)價(jià)管理防范環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)的通知》
（國(guó)家環(huán)境保護(hù)總局，環(huán)發(fā)[2012]77號(hào)）；
（9）《關(guān)于發(fā)布<建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收暫行辦法>的公告》
（國(guó)環(huán)規(guī)環(huán)評(píng)〔2017〕4號(hào)）；
（10）《建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收技術(shù)指南—污染影響類》（生
態(tài)環(huán)境部公告2018年第9號(hào)）；
（11）《廣東省污染源排污口規(guī)范化設(shè)置導(dǎo)則》（粵環(huán)〔2008〕
42號(hào)）；
（12）《建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收管理辦法》（2010年修改版）；
（13）《廣東省環(huán)境保護(hù)廳關(guān)于轉(zhuǎn)發(fā)環(huán)境保護(hù)部<建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)
境保護(hù)驗(yàn)收暫行辦法>的函》（粵環(huán)函〔2017〕1945號(hào)）；
（14）《（略）環(huán)境保護(hù)局關(guān)于印發(fā)建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)設(shè)施驗(yàn)收
工作指引的通知》（穗環(huán)〔2018〕30號(hào)）；
（15）《（略）（略）環(huán)境保護(hù)局廣州（略）環(huán)境保護(hù)局關(guān)于加
強(qiáng)建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收工作管理的通知》（穗埔環(huán)〔2018〕59
（略））；
（16）《關(guān)于發(fā)布<污染影響類建設(shè)項(xiàng)目重大變動(dòng)清單（試行）>
的通知》（環(huán)辦環(huán)評(píng)函〔2020〕688號(hào)）；
（17）《（略）環(huán)境保護(hù)局關(guān)于規(guī)范建設(shè)單位：（略）
竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收的通知》（穗環(huán)〔2020〕102號(hào)）。
（18）（略）《富樂德（略）域TFT設(shè)
備/半導(dǎo)體設(shè)備精密再生修復(fù)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表》；
（19）“關(guān)于富樂德（略）域TFT設(shè)備/半導(dǎo)體設(shè)備精密再生修復(fù)
項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表的批復(fù)”（穗開審批環(huán)評(píng)[2021]98號(hào)）；
（20）《富樂德（略）域TFT設(shè)備/半導(dǎo)體設(shè)備精密再生修復(fù)項(xiàng)目
檢測(cè)報(bào)告》（（略）：LCT（略））。
驗(yàn)收監(jiān)測(cè)評(píng)價(jià)
標(biāo)準(zhǔn)、標(biāo)號(hào)、級(jí)
別、限值
1、廢水
（1）生產(chǎn)廢水出廠標(biāo)準(zhǔn)
本項(xiàng)目生產(chǎn)廢水采取分類收集、分類處理措施，各類生產(chǎn)廢水經(jīng)3
廠內(nèi)自建廢水處理站預(yù)處理后，（略）納入永和水質(zhì)凈化廠
進(jìn)一步處理。
生產(chǎn)廢水出廠標(biāo)準(zhǔn)中，pH、COD
Cr
、BOD
5
、SS、氟化物、總銅和
動(dòng)植物油執(zhí)行《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二時(shí)段三級(jí)
標(biāo)準(zhǔn)；總銀、總鎳執(zhí)行《水污染物排放限值》表1第一類污染物最高
允許排放濃度；氨氮、總磷、總氮執(zhí)行《污水排入城鎮(zhèn)下水道水質(zhì)標(biāo)
準(zhǔn)》（GB/T（略））B級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。
（2）生活污水出廠標(biāo)準(zhǔn)
本項(xiàng)目生活污水經(jīng)隔油隔渣池和三級(jí)化糞池預(yù)處理達(dá)到永和水質(zhì)
凈化廠接管標(biāo)準(zhǔn)后進(jìn)入永和水質(zhì)凈化廠進(jìn)一步處理。生活污水出廠標(biāo)
準(zhǔn)執(zhí)行《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二時(shí)段三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。
（3）永和水質(zhì)凈化廠出水標(biāo)準(zhǔn)
永和水質(zhì)凈化廠出水標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》
（GB（略））一級(jí)A標(biāo)準(zhǔn)和廣東省《水污染物排放限值》
（DB44/26-2001）第二時(shí)段一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)（城鎮(zhèn)二級(jí)污水處理廠選項(xiàng)對(duì)應(yīng)
標(biāo)準(zhǔn)）中較嚴(yán)者。
2、廢氣
①氯化氫、硫酸霧、氮氧化物、氟化物、顆粒物有組織廢氣排放
濃度及排放速率執(zhí)行廣東省《大氣污染物排放限值》（DB44/27-2001）
第二時(shí)段二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，無組織廢氣排放濃度執(zhí)行廣東省《大氣污染物排
放限值》（DB44/27-2001）第二時(shí)段無組織排放監(jiān)控濃度限值。
VOCs有組織廢氣排放濃度及排放速率、無組織廢氣排放濃度參照
執(zhí)行廣東省《家具制造行業(yè)揮發(fā)性有機(jī)物排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB44/（略））
Ⅱ時(shí)段標(biāo)準(zhǔn)限值和無組織排放監(jiān)控點(diǎn)濃度限值。
氨氣排放執(zhí)行《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB（略））限值。
②廠區(qū)內(nèi)VOC
S
執(zhí)行廣東省《固定污染源揮發(fā)性有機(jī)物綜合排放
標(biāo)準(zhǔn)》（DB44/（略））表3規(guī)定的監(jiān)控點(diǎn)處1h平均濃度值和監(jiān)控
點(diǎn)處任意一次濃度值要求。
3、噪聲4
項(xiàng)目營(yíng)運(yùn)期各廠界執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》
（GB（略））中3類標(biāo)準(zhǔn)限值（即晝間≤65dB（A），夜間≤55dB
（A））。
4、固廢
一般固體廢物的處置應(yīng)符合固體廢物污染環(huán)境防治的相關(guān)規(guī)定。
危險(xiǎn)廢物按《危險(xiǎn)廢物貯存污染控制標(biāo)準(zhǔn)》（GB（略））等的有
關(guān)規(guī)定執(zhí)行。
5、總量控制
廢水：項(xiàng)目運(yùn)營(yíng)期廢水經(jīng)處理達(dá)標(biāo)（略）（略）排入永和水
質(zhì)凈化廠處理，因此無需申請(qǐng)水污染物總量指標(biāo)。
廢氣：根據(jù)環(huán)評(píng)及環(huán)評(píng)批復(fù)，本項(xiàng)目廢大氣污染物總量控制指標(biāo)：
項(xiàng)目新增污染物排放總量（t/a）應(yīng)控制在以下范圍：VOC
S
≤2.05、氮
氧化物≤3.55、顆粒物≤2.41、氟化物≤0.11、氯化氫≤0.22、硫酸霧
≤0.05、氨氣≤0.48。
固廢：項(xiàng)目固體廢物不自行處理排放，因此不設(shè)置固體廢物總量
控制指標(biāo)。
驗(yàn)收范圍
本次驗(yàn)收范圍為《富樂德（略）域TFT設(shè)備/半導(dǎo)體設(shè)備精密再生
修復(fù)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表》及其批復(fù)（（略）：穗開審批環(huán)評(píng)（穗開
審批環(huán)評(píng)[2021]98號(hào)）的內(nèi)容。二、項(xiàng)目工程建設(shè)內(nèi)容
2-1工程建設(shè)內(nèi)容：
1、項(xiàng)目概況
（略）位（略）（中心位置地理坐標(biāo)：
113°35'02.77"E，23°13'18.35"N），用地面積為13915m2，主體構(gòu)筑物為一幢4層的綜合
車間，一幢5（略）和一幢一層的化學(xué)品倉(cāng)庫(kù)，總建筑面積為32871m2。本項(xiàng)目為
新建項(xiàng)目，于2021年7月21日取得廣州（略）行政審批局《關(guān)于富樂德（略）域TFT
設(shè)備/半導(dǎo)體設(shè)備精密再生修復(fù)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表的批復(fù)》（穗開審批環(huán)評(píng)[2021]98
（略））》。
2022年06月24日，富樂德（略）域TFT設(shè)備/半導(dǎo)體設(shè)備精密再生修復(fù)項(xiàng)目的廢
氣、廢水污染治理設(shè)施竣工，項(xiàng)目于2022年07月04日取得國(guó)家排污許可證（證書編
（略）：（略）MA9W2GHY3H001U）。2023年4月10日，富樂德（略）域TFT設(shè)備/
半導(dǎo)體設(shè)備精密再生修復(fù)項(xiàng)目生產(chǎn)設(shè)施和配套的廢水、廢氣污染治理設(shè)施調(diào)試完畢，項(xiàng)
目生產(chǎn)設(shè)施和配套的環(huán)保設(shè)施運(yùn)行正常，企業(yè)申請(qǐng)環(huán)保驗(yàn)收。
根據(jù)《國(guó)務(wù)院關(guān)于修改<建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理?xiàng)l例>的決定》（國(guó)務(wù)院令第682號(hào)）
第十七條，“編制環(huán)境影響報(bào)告書、環(huán)境影響報(bào)告表的建設(shè)項(xiàng)目竣工后，建設(shè)單位：（略）
按照國(guó)務(wù)院環(huán)境保護(hù)行政主管部門規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)和程序，對(duì)配套建設(shè)的環(huán)境保護(hù)設(shè)施進(jìn)行
驗(yàn)收，編制驗(yàn)收?qǐng)?bào)告”。為此，（略）于2022年7月25日~28
（略）進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)勘查及取樣檢測(cè)，在此基礎(chǔ)上，廣州富樂德
（略）于2023年4月編制完成了本竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收?qǐng)?bào)告作為竣工環(huán)境保
護(hù)驗(yàn)收依據(jù)。
2、工程規(guī)模
（1）建設(shè)規(guī)模
本項(xiàng)目位（略）（中心位置地理坐標(biāo)：113°35'02.77"E，
23°13'18.35"N）
本項(xiàng)目?jī)?nèi)容組成見表2-1所示。
56
表2-1建設(shè)項(xiàng)目組成一覽表
名稱：（略）
類別
環(huán)評(píng)建設(shè)內(nèi)容
實(shí)際建設(shè)情況
主體
工程
TFT噴砂
TFT噴砂機(jī)8臺(tái)
一致
TFT熔射
TFT熔射機(jī)3臺(tái)
一致
TFT液洗
陶瓷清洗線1條、金屬液洗線1條
一致
OLED清洗
OLED清洗線1條
一致
OLED噴砂
OLED噴砂3臺(tái)
一致
超高壓沖洗
高壓沖洗間3間
一致
半導(dǎo)體噴砂
半導(dǎo)體噴砂機(jī)6臺(tái)、熔射、（略）、包裝
區(qū)
增加1臺(tái)噴砂機(jī)
半導(dǎo)體熔射
半導(dǎo)體熔射機(jī)1臺(tái)
一致
半導(dǎo)體（略）
BTCH（略）：石英洗凈線1條、陶瓷洗
凈線1條、氧化件洗凈線2條PVC/CVD
（略）：石英陶瓷洗凈線1條、Belljar
洗凈線1條、一般部品洗凈線2條
新增一條HW清洗線
輔助
工程
（略）域
包括辦公室、會(huì)議室等
一致
倉(cāng)庫(kù)
產(chǎn)品倉(cāng)庫(kù)
一致
化學(xué)品倉(cāng)庫(kù)
一致
公用
工程
供水工程
（略）
一致
（略）
（略），產(chǎn)水能力30m3/h
一致
（略）
①實(shí)行雨污分流；②生活污水及生產(chǎn)廢水
（略）處理后，經(jīng)市政
（略）匯入永和水質(zhì)凈化廠統(tǒng)一處理，
廢水經(jīng)處理達(dá)標(biāo)后排入永和河。
一致
（略）
年用電量約為1000萬度，
一致
環(huán)保
工程
廢氣
①工藝酸性廢氣：四級(jí)堿液噴淋洗滌塔；
②粉塵：除塵裝置；
③工藝堿性廢氣：兩級(jí)酸液噴淋洗滌塔；
④工藝有機(jī)廢氣：二級(jí)水噴淋+活性炭；
⑤食堂油煙：經(jīng)油煙凈化裝置處理。
⑥廢水處理站：經(jīng)物除臭塔處理。
①工藝酸性廢氣：五級(jí)堿液噴
淋+五級(jí)除臭洗滌；
②粉塵：除塵裝置；
③工藝堿性廢氣：兩級(jí)酸液噴
淋洗滌塔；
④工藝有機(jī)廢氣：二級(jí)水噴淋
+活性炭；
⑤食堂油煙：經(jīng)油煙凈化裝置。
⑥廢水處理站：一級(jí)水噴淋+
活性炭吸附；
廢水
①實(shí)行雨污分流；②生活污水及生產(chǎn)廢水
（略）處理后，經(jīng)市政
（略）匯入永和水質(zhì)凈化廠統(tǒng)一處理，
廢水經(jīng)處理達(dá)標(biāo)后排入永和河。
一致
噪聲
對(duì)設(shè)備加裝減振措施、圍墻隔聲、加強(qiáng)綠
化等
一致
固體廢物
生活垃圾委托環(huán)衛(wèi)部門清運(yùn)；一般固體廢
物暫存于一般（略），定期交由相關(guān)單位：（略）
進(jìn)行回收處理；危險(xiǎn)廢物儲(chǔ)存于危廢間
內(nèi)，并委托有資質(zhì)單位：（略）
一致7
（2）項(xiàng)目產(chǎn)能規(guī)模
項(xiàng)目產(chǎn)品方案及生產(chǎn)規(guī)模情況見表2-2。
表2-2
項(xiàng)目產(chǎn)品產(chǎn)能一覽表
產(chǎn)品
環(huán)評(píng)產(chǎn)量
變動(dòng)情況
實(shí)際建設(shè)情況
清洗修復(fù)半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備精密部件
52.5萬件/年
+2萬件/年
54.5萬件/年
清洗修復(fù)TFT生產(chǎn)設(shè)備精密部件
143萬件/年
無變動(dòng)
143萬件/年
（3）生產(chǎn)設(shè)備情況
項(xiàng)目生產(chǎn)設(shè)備情況見下表。
表2-3
項(xiàng)目主要生產(chǎn)設(shè)備一覽表
（略）
設(shè)備名稱：（略）
環(huán)評(píng)數(shù)量（臺(tái)/套）實(shí)際數(shù)量（臺(tái)/套）
（略）規(guī)格
實(shí)際建設(shè)情況
1
高壓水洗機(jī)
3
3
2000kg
與環(huán)評(píng)內(nèi)容總體一致
2
ARC溶射機(jī)
2
2
8835&9935
與環(huán)評(píng)內(nèi)容總體一致
3
Flame溶射機(jī)
1
1
6601&7700
與環(huán)評(píng)內(nèi)容總體一致
4
噴砂房/噴砂機(jī)
16
17
SG&FD
增加1臺(tái)噴砂機(jī)
5
超聲波清洗機(jī)
21
21
/
與環(huán)評(píng)內(nèi)容總體一致
6烘箱（干燥箱）
27
27
150—1200
與環(huán)評(píng)內(nèi)容總體一致
7
純水制造設(shè)備
1
1
非標(biāo)定制
與環(huán)評(píng)內(nèi)容總體一致
8
空壓機(jī)
3
3
ZT75-10
與環(huán)評(píng)內(nèi)容總體一致
9
捆包機(jī)
2
2
/
與環(huán)評(píng)內(nèi)容總體一致
10
各類液洗槽
64
75
非標(biāo)定制
增加11個(gè)液洗槽
(4）項(xiàng)目投資：本項(xiàng)目總投資3000萬元人民幣，其中環(huán)保投資（略），占總投資
額的3.43%，環(huán)保投資情況如表2-4所示。
表2-4項(xiàng)目環(huán)保投資情況
項(xiàng)目名稱：（略）
實(shí)際主要建設(shè)內(nèi)容
實(shí)際投資（萬元）
（略）
①工藝酸性廢氣：五級(jí)堿液噴淋+五級(jí)除臭洗滌；
②粉塵：除塵裝置；
③工藝堿性廢氣：兩級(jí)酸液噴淋洗滌塔；
④工藝有機(jī)廢氣：二級(jí)水噴淋+活性炭；
⑤食堂油煙：經(jīng)油煙凈化裝置。
⑥廢水處理站：一級(jí)水噴淋+活性炭吸附
380
（略）
三級(jí)化糞池、自建污水治理設(shè)施
450
噪聲治理措施
選用低噪聲設(shè)備、基礎(chǔ)減震、墻體隔聲
30
（略）
危廢間、固廢間
30
綠化及生態(tài)
廠區(qū)園林綠化
10
其他
環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防范及應(yīng)急設(shè)施
130
合計(jì)
/
1030
3、人員規(guī)模及工作制度
本項(xiàng)目勞動(dòng)定員348人，項(xiàng)目不設(shè)員工食堂及宿舍，年工作300天，每天工作8小8
時(shí)。
4、項(xiàng)目地理位置（略）平面布置
（略）位于建設(shè)項(xiàng)（略）（中心位置地理坐
標(biāo)：113°35'02.77"E，23°13'18.35"N），項(xiàng)目地理位置詳見附圖1。
本項(xiàng)目東北側(cè)為富樂（廣州）（略），東南側(cè)為待開發(fā)工業(yè)用地和廣州丘
（略）；西南側(cè)為維美德造紙機(jī)械技術(shù)（廣州）（略），（略）為
（略）和待開發(fā)工業(yè)用地。項(xiàng)目四至情況詳見附圖2。
項(xiàng)目周邊敏感點(diǎn)分布表和圖見表2-5和附圖3；項(xiàng)目平面布置圖詳見附圖4、附圖
4-1、附圖4-2、附圖4-3、附圖4-4。
項(xiàng)目周邊1km范圍內(nèi)無自然（略）、風(fēng)景（略）、生態(tài)功能（略）、森林公園，也
沒有國(guó)家和地方規(guī)定的珍稀、特有野生動(dòng)植物。
表2-5項(xiàng)目周圍敏感點(diǎn)情況一覽表
序
（略）
名稱：（略）
坐標(biāo)/m
保護(hù)對(duì)
象
保護(hù)內(nèi)
容（人）
環(huán)境（略）
相對(duì)
廠址
方位
相對(duì)
距離
/m
X
Y
1
禾豐新村
-2060
117
居民
~6500
大氣二類、
環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)
西
2063
2
實(shí)地常春藤
-1370
226
居民
~13000
西
1389
3
布嶺村
-1729
-505
居民
~1800
西南
1801
4
合豐小學(xué)
-2060
-428
居民
~400
西南
2104
5
賢江村
-2395
-901
居民
~2000
西南
2559
6
甘竹村
-1406
-1365
居民
~3500
西南
1960
7
珠江嘉園
-1572
-1660
居民
~7000
西南
2286
8
華峰學(xué)校
-1083
-1728
居民
~1100
西南
2039
9
新莊村
-1067
-2370
居民
~2500
西南
2599
10
永新中學(xué)
257
-1670
居民
~1600
南
1690
11
永和中學(xué)
402
-2126
居民
~1200
南
2164
12
萎園村
774
-2372
居民
~2000
南
2495
13
荔枝山
1056
-1088
居民
~1300
東南
1516
14
樟山嚇
569
-112
居民
~580
東南
600
15
翟洞村
2114
-1202
居民
~3200
東南
2432
16
塔崗村
2073
-1537
居民
~2000
東南
2581
17
合景譽(yù)山國(guó)際
2332
-1807
居民
~18000
東南
2950
18
公安村
1980
-91
居民
~2500
東
1982
19
金地公園上城
1516
1174
居民
~4500
東
1917
20
許屋村
2166
2230
居民
~1200
東北
3109
21
萬科山景城
569
-4588
居民
~2500
環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)
西
46239
22
碧桂園鳳凰城
-4751
-238
居民
~12000
南
4757
23
永（略）
-1557
-3273
居民
~20000
東南
3624
24
時(shí)代廊橋
2880
-1729
居民
~4500
東南
3359
25
保利立方花園
3339
-1606
居民
~3500
東南
3705
26
公安小學(xué)
3427
-463
居民
~500
東
3458
27
余家莊
4058
146
居民
~900
東
4061
28
麥村
1632
3666
居民
~1200
東北
4013
29
小埔
-203
4146
居民
~1000
東北
4151
30
賢江小學(xué)
-2819
-937
居民
~560
西南
2971
31
永崗村
-454
-2715
居民
~5000
南
2753
32
金地荔湖城
2651
443
居民
~3000
東
2688
33
永和河
/
/
河流
地表水質(zhì)
III類水體
西
1665
34
規(guī)劃防護(hù)林地
/
/
（略）
生態(tài)環(huán)境
土壤環(huán)境
西
80
2-2原輔材料消耗及水平衡：
1、原輔材料消耗情況
表2-6項(xiàng)目原輔材料使用情況一覽表
名稱：（略）
環(huán)評(píng)年使用量
實(shí)際年使用量
變化情況
備注
年用量（t）
最大貯存
量（t）
年用量
（t）
最大貯
存量（t）
丙酮
15
1
15
1
無變化
用于部件擦拭
工序。
硝酸（69%）
240
5
250
5
+10噸
化學(xué)清洗
氫氟酸（49%）
35
2
38
2
+3噸
氫氧化鈉
（31%）
475
5
475
5
無變化
氨水（20%）
70
2
70
2
無變化
N-甲基吡咯烷
酮
60
6
60
6
無變化
氫氧化鉀
80
2
81
2
+1噸
異丙醇
5
1
5
1
無變化
無水乙醇
0.8
0.1
0.8
0.1
無變化
片堿
90
2
90
2
無變化
過氧化氫
（35%）
270
5
292.25
5
+22.25噸
化學(xué)清洗、廢水
處理
鹽酸（31%）
160
2
173.18
2
+13.18噸
硫酸（98%）
20
2
21.65
2
+1.65噸
化學(xué)清洗、廢氣
處理
亞硫酸氫鈉
0.3
0.1
0.32
0.1
+0.02噸
純水制備
阻垢劑
0.75
0.1
0.81
0.1
+0.06噸
工業(yè)鹽
4.5
0.1
4.87
0.1
+0.37噸
聚丙烯酰胺
10
1
10.82
1
+0.82噸
廢水處理
磷酸氫二鈉
40
1
43.30
1
+3.30噸
氯化鎂
70
1
75.77
1
+5.77噸
氯化鈣
75
1
81.18
1
+6.18噸10
聚合硫酸鐵
11
1
11.91
1
+0.91噸
聚合氯化鋁
80
1
86.59
1
+6.59噸
重金屬捕捉劑
40
1
43.30
1
+3.30噸
磷酸
5
1
5.41
1
+0.41噸
次氯酸鈉
（10%）
340
2
368.02
2
+28.02噸
廢水處理、廢氣
處理
亞氯酸鈉
（31%）
25
1
27.06
1
2.06
廢氣處理
硫化鈉（15%）
25
1
27.06
1
2.06
白剛玉砂材
120
10
120
10
無變化
噴砂
陶瓷粉
10
0.5
10
0.5
無變化
陶瓷熔射
氫氣
50瓶
2瓶
50瓶
2瓶
無變化
陶瓷熔射、焊接
氬氣
1149瓶
4瓶
1149瓶
4瓶
無變化
Flame熔射
乙炔
1382瓶
20瓶
1382瓶
20瓶
無變化
吹掃部件
氧氣
1365瓶
20瓶
1365瓶
20瓶
無變化
檢驗(yàn)部件
氮?dú)?
28瓶
5瓶
28瓶
5瓶
無變化
Flame熔射、電
弧熔射
二氧化碳
10瓶
2瓶
10瓶
2瓶
無變化
焊接
氦氣
1瓶
1瓶
1瓶
1瓶
無變化
噴砂
鋁線
2
0.2
2
0.2
無變化
陶瓷熔射
焊條
0.15
0.05
0.15
0.05
無變化
陶瓷熔射、焊接
根據(jù)《富樂德（略）域TFT設(shè)備/半導(dǎo)體設(shè)備精密再生修復(fù)項(xiàng)目非重大變動(dòng)環(huán)境影
響分析報(bào)告》，原輔料變動(dòng)，不屬于重大變動(dòng)。
2、主要原輔材料理化性質(zhì)
本項(xiàng)目使用的各危險(xiǎn)化學(xué)品理化性質(zhì)見表2-7所示。
表2-7主要危險(xiǎn)化學(xué)品理化性質(zhì)
名稱：（略）
CAS號(hào)
理化性質(zhì)
易燃易爆性
毒理毒性
丙酮
CH
3
COCH
3
67-64-1
是一種無色透明液體，有特殊的辛辣氣
味
。易
溶
于
水
和
甲
醇
、
乙
醇
、
乙
醚
、
氯
仿
、
吡啶
等
有
機(jī)
溶
劑
。
易
燃
、
易
揮
發(fā)
，
化
學(xué)
性
質(zhì)較活潑。
易燃。
LD
50
：5800mg/kg
（大鼠經(jīng)口）；
20000mg/kg（兔
經(jīng)皮）
硝酸
HNO
3
7697-37-2
純品為無色透明發(fā)煙液體，有酸味，分子
量63.01；蒸汽壓4.4kPa（20℃）、熔點(diǎn)
-42℃/無水、沸點(diǎn)86℃/無水；相對(duì)密度
（水=1）1.50（無水）、相對(duì)密度（空氣
=1）2.17；危險(xiǎn)標(biāo)記20（酸性腐蝕品）
具有強(qiáng)氧化性。與易
燃物（如苯）和有機(jī)
物（如糖、纖維素等）
接
觸
會(huì)
發(fā)
生
劇
烈
反
應(yīng)
，
甚
至
引
起
燃
燒
。
與堿金屬能發(fā)生劇
烈反應(yīng)。具有強(qiáng)腐蝕
性。
大
鼠
吸
入
L
C
50
：
4
9p
pm
/4
小
時(shí)
氫氟酸
HF
7664-39-3
是一種無色透明液體，有刺激性臭味氣
味，與水混溶。分子量20.01；熔點(diǎn)-83.1℃/
無水、沸點(diǎn)120℃/無水；相對(duì)密度（水=1）
不燃
大鼠吸入LC
50
：
1276ppm/1小時(shí)11
1.26（無水）、相對(duì)密度（空氣=1）1.27
氫氧化鈉
NaOH
1310-73-2
白色晶體、易潮解，易溶于水、乙醇、甘
油，不溶于丙酮；分子量40.01；蒸汽壓
0.13kPa（739℃）、熔點(diǎn)318.4℃/無水、
沸點(diǎn)1390℃/無水；相對(duì)密度（水=1）2.12；
危險(xiǎn)標(biāo)記：第8.2類（堿性腐蝕品）
不燃
/
氨水
1336-21-6
無色透明液體，有強(qiáng)烈的刺激性臭味。分
子量3
5.0
5，
相
對(duì)
蒸
氣
密
度
（
空
氣
=1
）
：
0.91；
熔
點(diǎn)
：-
77
℃
、
沸
點(diǎn)
：3
7.
7℃
、
閃
點(diǎn)
：
/。蒸氣壓：1.59kpa（20℃）
易分解放出氨，溫度
越高，分解速度越
快
，
可
形
成
爆
炸
性
氣
氛
。
若
遇
高
熱
，
容
器
內(nèi)
壓
增
大
，
有
開
裂
和
爆炸的危險(xiǎn)。爆炸極
限25%-29%。
急
性
毒
性
：
L
D
5
0
：
35
0m
g/
kg
（
大
鼠
經(jīng)
口
）
氫氧化鉀
KOH
1310-58-8
白色晶體、易潮解，溶于水、乙醇、微溶
于醚；分子量56.11；蒸汽壓0.13kPa
（719℃）、熔點(diǎn)360.4℃/無水、沸點(diǎn)
1320℃/無水；相對(duì)密度（水=1）2.04；危
險(xiǎn)標(biāo)記：第8.2類（堿性腐蝕品）
不燃
急性毒性：LD
50
：
273mg/kg（大鼠
經(jīng)口）
N-甲基吡
咯烷酮
（NMP）
872-50-4
無色透明油狀液體，微有胺的氣味。揮發(fā)
度低，熱穩(wěn)定性、化學(xué)穩(wěn)定性均佳，能隨
水蒸氣揮發(fā)。有吸濕性。對(duì)光敏感。易溶
于水、乙醇、乙醚、丙酮、乙酸乙酯、氯
仿和苯，能溶解大多數(shù)有機(jī)與無機(jī)化合
物、極性氣體、天然及合成高分子化合物。
熔點(diǎn)：-24°C，沸點(diǎn)：203℃，81-82°C/10
mmHg，閃點(diǎn)：91°C，密度（g/mL，
25/25℃）：1.0260
遇明火、高溫、強(qiáng)氧
化劑可燃；受熱分解
有毒氧化氮?dú)怏w
低毒類。小鼠口
經(jīng)LC
50
：
5130mg/kg；大鼠
口經(jīng)LD
50
：
3914mg/kg
異丙醇
（IPA）
67-63-0
無色透明具有乙醇?xì)馕兜目扇夹砸后w。沸
點(diǎn)（atm，℃，101.3kPa）：82.4；5熔點(diǎn)
（atm，℃）：-87.9；相對(duì)密度（g/mL，
20C，atm）：0.7863；閃點(diǎn)（atm；℃）：
12；燃點(diǎn)（atm；℃）：460。能與醇、醚、
氯仿和水混溶，能溶解生物堿、橡膠、蟲
膠、松香、合成樹脂等多種有機(jī)物和某些
無機(jī)物，與水形成共沸物，不溶于鹽溶液。
易燃，其蒸氣與空氣
可形成爆炸性混合
物
，
遇
明
火
、
高
熱
能
引
起
燃
燒
爆
炸
。
與
氧
化劑接觸猛烈反應(yīng)。
在火場(chǎng)中，受熱的容
器有爆炸危險(xiǎn)。其蒸
氣比空氣重，能在較
低處擴(kuò)散到相當(dāng)遠(yuǎn)
的地方，遇火源會(huì)著
火回燃。
低
毒
類
。
口
服
-
大
鼠
L
D
50
：
5
84
0
mg/kg；口服-小
鼠LC
50
：
3600mg/kg，家兔
經(jīng)皮LD
50
為
16.4ml/kg
無水乙醇
CH
3
CH
2
OH
64-17-5
無色液體，有酒香。與水混溶，可混溶于
醚
、
氯
仿
、
甘
油
等
多
數(shù)
有
機(jī)
溶
劑
。
相
對(duì)
密
度
（
水
=1
）
0.
79
，
飽
和
蒸
汽
壓
5.
33
kP
a，
閃點(diǎn)12℃，沸點(diǎn)78.3℃。
易燃
急性毒性：LD
50
：
7060mg/kg（兔
經(jīng)口）；7430
mg/kg（兔經(jīng)皮）
LC
50
：37620
mg/m3，10小時(shí)
（大鼠吸入）12
雙氧水
H
2
O
2
7722-84-1
無色透明液體，有微弱的特殊氣味，分子
量43.01；蒸汽壓0.13kPa（15.3℃）、熔
點(diǎn)
-
2
℃
/無
水
、
沸
點(diǎn)
15
8℃
/無
水
；
溶
于
水
、
醇
、
醚
，
不
溶
于
苯
、石
油
醚
；相
對(duì)
密
度
（
水
=1）1.46（無水）；危險(xiǎn)標(biāo)記11（氧化劑），
20（腐蝕品）。
爆炸性強(qiáng)氧化劑。過
氧化氫本身不燃，但
能與可燃物反應(yīng)放
出大量熱量和氣氛
而引起著火爆炸。過
氧化氫在pH值為
3.5～4.5時(shí)最穩(wěn)定，
在堿性溶液中極易
分解，在遇強(qiáng)光，特
別是短波射線照射
時(shí)也能發(fā)生分解。當(dāng)
加熱到100℃以上
時(shí)，開始急劇分解。
它
與
許
多
有
機(jī)
物
如
糖
、
淀
粉
、
醇
類
、
石
油
產(chǎn)
品
等
形
成
爆
炸
性
混
合
物
，
在
撞
擊
、
受熱或電火花作用
下能發(fā)生爆炸。過氧
化氫與許多無機(jī)化
合物或雜質(zhì)接觸后
會(huì)迅速分解而導(dǎo)致
爆炸，放出大量的熱
量、氧和水蒸氣。濃
度超過74%的過氧化
氫，在具有適當(dāng)?shù)狞c(diǎn)
火源或溫度的密閉
容器中，會(huì)產(chǎn)生氣相
爆炸。
LD
50
：4060mg/kg
（
大
鼠
經(jīng)
皮
）
；
LC
50
：
20
00
m
g
/
?
，
4
小
時(shí)
（
大
鼠吸入）
鹽酸
HCl
7647-01-0
無色或微黃色發(fā)煙液體，有刺鼻的酸味，
分
子
量
3
6
.4
6，
蒸
汽
壓
30
.
6
6
k
P
a（
2
1℃
）
，
熔
點(diǎn)
-11
4
.8
℃
/純
，
沸
點(diǎn)
1
0
8
.
6
℃
/20
%
，
與
水混溶，溶于堿液。
不
可
燃
。
能
與
一
些
活
性
金
屬
粉
末
發(fā)
生
反
應(yīng)
，
放
出
氫
氣
。
LD
50
：
9
00
m
g/kg
（
兔
經(jīng)
口
）
硫酸
H
2
SO
4
7664-93-9
純品為無色透明油狀液體，無臭，分子量
98；蒸汽壓0.13kPa（145.8℃）、熔點(diǎn)
10.5℃、沸點(diǎn)330℃；與水混溶；相對(duì)密
度（水=1）1.83、相對(duì)密度（空氣=1）3.4；
危險(xiǎn)標(biāo)記20（酸性腐蝕品）。
與易燃物（如苯）和
有機(jī)物（如糖、纖維
素等）接觸會(huì)發(fā)生劇
烈反應(yīng)，甚至引起燃
燒。能與一些活性金
屬粉末發(fā)生反應(yīng)，放
出氫氣。遇水大量放
熱，可發(fā)生沸濺。具
有強(qiáng)腐蝕性。
急性毒性：LD
50
：
5080mg/kg（大鼠
經(jīng)口）；LC
50
：
510mg/m3，2小
時(shí)（大鼠吸入）；
320mg/m3，2小
時(shí)（小鼠吸入）
磷酸
H
3
PO
4
7664-38-2
白色固體，大于42℃時(shí)為無色粘稠液體。
磷酸是三元中強(qiáng)酸，分三步電離，不易揮
發(fā)，不易分解，有一定氧化性，具有酸的
通性，可與水以任意比互溶。密度
1.874g/mL（液態(tài)），沸點(diǎn)261℃，溶點(diǎn)
磷酸無強(qiáng)氧化性，無
強(qiáng)腐蝕性，屬于較為
安全的酸，遇H發(fā)孔
劑可燃；受熱排放有
毒磷氧化物煙霧。
屬低毒類，有刺
激性。LD50：
1530mg/kg（大鼠
經(jīng)口）；
2740mg/kg（兔經(jīng)13
42℃。
皮）
乙炔
74-86-2
無色芳香氣味的易燃?xì)怏w。熔點(diǎn)
（118.656kPa）-80.8℃，沸點(diǎn)-84℃，相
對(duì)密度0.6208（-82/4℃），閃點(diǎn)（開杯）
-17.78℃，自燃點(diǎn)305℃。微溶于水，溶
于乙醇、苯、丙酮。
在空氣中爆炸極限
2.3%-72.3%（vol）。
在液態(tài)和固態(tài)下或
在氣態(tài)和一定壓力
下
有
猛
烈
爆
炸
的
危
險(xiǎn)
，
受
熱
、
震
動(dòng)
、
電
火花等因素都可以
引發(fā)爆炸，因此不能
在加壓液化后貯存
或運(yùn)輸。
屬微毒類，具有
弱麻醉和阻止細(xì)
胞氧化的作用。
3、水平衡
生產(chǎn)廢水按廢水性質(zhì)分類收集分類處理，重金屬?gòu)U水、含氟廢水、含氨廢水、有機(jī)
（略）處理后，（略）進(jìn)一步處理達(dá)永和水質(zhì)凈化廠
進(jìn)水標(biāo)準(zhǔn)《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二時(shí)段三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，（略）
匯入永和水質(zhì)凈化廠統(tǒng)一處理達(dá)標(biāo)《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB（略））
一級(jí)A標(biāo)準(zhǔn)和廣東省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二時(shí)段一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)（城鎮(zhèn)
二級(jí)污水處理廠選項(xiàng)對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)）中較嚴(yán)者）排放至永和河。
本項(xiàng)目外排的生活污水經(jīng)化糞池處理達(dá)到廣東省《水污染物排放限值》
（DB44/26-2001）第二時(shí)段三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)后（略）（略），（略）排入開（略）水質(zhì)
凈化廠處理。
本項(xiàng)目用水（略）政供水，用水主要為生產(chǎn)用水和生活用水。排水主要來自生產(chǎn)廢
水及生活污水。
（1）生產(chǎn)用排水
①生產(chǎn)線用排水
本項(xiàng)目生產(chǎn)用水主要有各生產(chǎn)線酸洗、堿洗、漂洗等處理工序用水及各藥液槽所需
的補(bǔ)充水等，用水類型包括新鮮水和純水。各生產(chǎn)線各工序具體用排水情況見表2-8。
表2-8本項(xiàng)目生產(chǎn)線各類生產(chǎn)廢水、廢液產(chǎn)排量統(tǒng)計(jì)表
（略）
廢水類別
廢水實(shí)際產(chǎn)生量（m3/月）
生產(chǎn)線廢
水
綜合廢水
4438
含氨廢水
38
含氟廢水
382
含銅廢水
18
含鎳廢水
8
含銀廢水
7
有機(jī)廢水
595②廢有機(jī)廢液回收裝置用水
本項(xiàng)目有機(jī)浸泡槽使用的NMP和IPA，在使用后仍有較高的回收價(jià)值，因此本項(xiàng)
目對(duì)NMP和IPA設(shè)置蒸餾回收裝置，回收的有機(jī)清洗劑回用于生產(chǎn)中，剩余雜質(zhì)作為
危險(xiǎn)廢物委托有資質(zhì)單位：（略）
根據(jù)生產(chǎn)線用水，NMP和IPA裝置每月產(chǎn)出廢有機(jī)清洗劑14t，經(jīng)回收裝置回收后，
12.4t的NMP回用于生產(chǎn)線中，剩余1.6t作為危險(xiǎn)廢物委托有資質(zhì)單位：（略）
③本項(xiàng)目的某些生產(chǎn)環(huán)節(jié)需要消耗高純度的去離子水，以保證產(chǎn)品的品質(zhì)，本項(xiàng)目共設(shè)
有一套產(chǎn)水能力30m3/h的純水制備裝置。本項(xiàng)目每月純水使用量為57003m3，每月制純水所
用的自來水量為8143m3，每月純水制備產(chǎn)生的濃水量為2443m3，純水站濃水經(jīng)調(diào)解pH后，
（略）（略），納入永和水質(zhì)凈化廠進(jìn)一步處理。
④廢氣噴淋塔用排水
本項(xiàng)目噴淋塔廢水量為182m3/月，進(jìn)入綜合污水處理設(shè)施一起處理。
⑤綠化用水
本項(xiàng)目綠化面積約為1021.36m2，綠化用水量約為18.2m3/月，使用自來水進(jìn)行綠化。
（2）生活用排水
本項(xiàng)目員工150人，廠內(nèi)設(shè)職工食堂，不設(shè)員工集中宿舍。員工生活月用水量約為168m3，
生活污水月產(chǎn)生量約為151.2m3。
綜上，根據(jù)項(xiàng)目各項(xiàng)用水、排水指標(biāo)，統(tǒng)計(jì)全廠用排水平衡，見下表。
14圖2-1本項(xiàng)目水平衡圖（m3/月）
注：此水平衡圖廢水排放量根（略）（略）的流量計(jì)所得
核算時(shí)間為：2023年2月26日-2023年3月25日
2-3主要工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)（附處理工藝流程圖，標(biāo)出產(chǎn)污節(jié)點(diǎn)）：
1.TFT材料修復(fù)工藝流程
一、CF制程材料修復(fù)工藝
1、材質(zhì)為Al、Ti，膜質(zhì)為ITO零部件
15圖2-2TFT—CF制程—材質(zhì)為Al、Ti，膜質(zhì)為ITO零部件修復(fù)工藝
工藝流程簡(jiǎn)述：
全過程均為物理工序。
①受入：對(duì)從客戶處取來的原始零部件進(jìn)行外觀、數(shù)量、材質(zhì)的確認(rèn)，受入的零部
件在客（略）由客戶自行拆解，本項(xiàng)目不涉及零部件拆解。
②超高壓水洗：利用超高壓水洗機(jī)噴出的超高壓自來水沖去零部件表面沉積的膜
層。
③噴砂：噴砂是采用壓縮空氣為動(dòng)力，以形成高速噴射束將噴料高速噴射到需要處
理的工件表面，使工件表面的外表面的外表或形狀發(fā)生變化。由于磨料對(duì)工件表面的沖
擊和切削作用，使工件的表面獲得一定的清潔度和不同的粗糙度，從而使工件表面的機(jī)
械性能得到改善。項(xiàng)目噴砂工序使用的砂料為白剛玉（氧化鋁）。
④熔射：熔射是利用熱源將金屬（鋁線）熔化，并以一定速度噴射到基體表面形成
涂層的方法。
熔射的工作原理為：將兩條各自帶有正電負(fù)電的相同金屬線接觸產(chǎn)生電弧，瞬間產(chǎn)
1617
生高熱將金屬線材融化。再經(jīng)高壓空氣吹細(xì)霧化，帶送吹向底材（或工件），堆積、凝
固成涂層或膜厚。熔射的材料為鋁線或陶瓷粉（Al
2
O
3
）。
⑤檢測(cè)：檢測(cè)前道工序加工是否合格，不合格返工，合格進(jìn)入下一道工序。
⑥干燥：清洗干凈的零部件進(jìn)入烘箱烘干，烘干溫度控制在150℃，干燥2h。
⑦包裝、出荷：干燥后的零部件進(jìn)行包裝，出荷送達(dá)到客戶。
2、材質(zhì)為SUS，膜質(zhì)為ITO零部件
圖2-3TFT—CF制程—材質(zhì)為SUS，膜質(zhì)為ITO零部件修復(fù)工藝工藝流程簡(jiǎn)述：
①受入：對(duì)從客戶處取來的原始零部件進(jìn)行外觀、數(shù)量、材質(zhì)的確認(rèn)，受入的零部
件在客（略）由客戶自行拆解，本項(xiàng)目不涉及零部件拆解。
②酸洗、漂洗：用鹽酸和純水按比例配比成酸洗液對(duì)受入的零部件進(jìn)行浸泡（浸泡
時(shí)間為4h，溫度控制在40℃）。酸洗后的零部件再使用純水進(jìn)行漂洗（漂洗時(shí)間12min）。
③堿洗、漂洗：用氫氧化鉀和純水（1kg氫氧化鉀配10L純水）配比成堿洗液對(duì)受
入的零部件進(jìn)行浸泡（浸泡時(shí)間為2h，溫度控制在60℃）。堿洗后的零部件再使用純
水進(jìn)行漂洗（漂洗時(shí)間1h）。
④中和、漂洗：用硝酸、氫氟酸、純水按照1：1：2的比例配比成酸洗液對(duì)零部件
進(jìn)行中和（浸泡時(shí)間為10s。中和后的零部件再使用純水進(jìn)行漂洗（漂洗時(shí)間1h）。
⑤噴砂：按照工藝要求對(duì)中間保護(hù)后的產(chǎn)品或者剝離噴砂后的產(chǎn)品進(jìn)行精噴砂作
業(yè)，（略）一般選擇為24#、46#、80#等，噴砂壓力為3~5Kg/cm2或4~6Kg/cm2，作
業(yè)后的產(chǎn)品外觀上要求無色差、無殘膜、無印記、無劃傷等現(xiàn)象，同時(shí)需要保證產(chǎn)品的
表面粗糙度要求。
⑥檢測(cè)：檢測(cè)前道工序加工是否合格，不合格返工，合格進(jìn)入下一道工序。
⑦高壓水洗：利用純水在高壓力（0.25MPa）下對(duì)零部件進(jìn)行水洗。
⑧干燥：清洗干凈的零部件進(jìn)入烘箱烘干，烘干溫度控制在200℃，干燥4h。
⑨包裝、出荷：干燥后的零部件進(jìn)行包裝，出荷送達(dá)到客戶。
二、PVD制程材料修復(fù)工藝流程
1、材質(zhì)為Al、Ti，膜質(zhì)為ITO/Mo/Al/Ti/Cu零部件
生產(chǎn)工藝過程與“TFT—CF制程—材質(zhì)為Al、Ti，膜質(zhì)為ITO零部件”的修復(fù)工
藝一致，詳見圖2-2。
2、材質(zhì)為陶瓷，膜質(zhì)為ITO零部件
生產(chǎn)工藝過程與“TFT—CF制程—材質(zhì)為SUS，膜質(zhì)為ITO零部件”零部件的修
復(fù)工藝一致，詳見2-3。
18三、DE制程材料修復(fù)工藝流程
1、材質(zhì)為陶瓷，膜質(zhì)為鹵化物、光刻膠零部件
圖2-4TFT—DE制程—材質(zhì)為陶瓷，膜質(zhì)為鹵化物、光刻膠零部件修復(fù)工藝
工藝流程簡(jiǎn)述：
①受入：對(duì)從客戶處取來的原始零部件進(jìn)行外觀、數(shù)量、材質(zhì)的確認(rèn)，受入的零部
件在客（略）由客戶自行拆解，本項(xiàng)目不涉及零部件拆解。
②堿洗、漂洗：用氫氧化鉀和純水（1kg氫氧化鉀配10L純水）配比成堿洗液對(duì)受
入的零部件進(jìn)行浸泡（浸泡時(shí)間為4h，溫度控制在60℃）。堿洗后的零部件再使用純
水進(jìn)行漂洗（漂洗時(shí)間1h）。
③中和、漂洗：用硫酸、純水按照1：4的比例配比成酸洗液對(duì)零部件進(jìn)行中和（浸
泡時(shí)間為10s。中和后的零部件再使用純水進(jìn)行漂洗（漂洗時(shí)間1h）。
④干燥：清洗干凈的零部件進(jìn)入烘箱烘干，烘干溫度控制在200℃，干燥4h。
⑤包裝、出荷：干燥后的零部件進(jìn)行包裝，出荷送達(dá)到客戶。
1920
2、材質(zhì)為Al、SUS，膜質(zhì)為鹵化物、光刻膠零部件
生產(chǎn)工藝過程與“TFT—DE制程—材質(zhì)為陶瓷，膜質(zhì)為鹵化物、光刻膠零部件”
的修復(fù)工藝一致，詳見圖2-4。
四、sputter制程材料修復(fù)工藝流程
本項(xiàng)目TFT—sputter制程的所有零部件的修復(fù)工藝均與“TFT—CF制程—材質(zhì)為
SUS，膜質(zhì)為ITO零部件”零部件的修復(fù)工藝一致，詳見圖2-3。
材質(zhì)為SUS，膜質(zhì)為Ag零部件的修復(fù)工序中，在硝酸和氫氟酸的作用下，Ag與硝
酸反應(yīng)生產(chǎn)硝酸銀，反應(yīng)方程式如下：
Ag+2HNO
3
===AgNO
3
+NO
2
↑+H
2
O
該反應(yīng)產(chǎn)生W6含銀廢水。
五、OLED制程材料修復(fù)工藝流程
圖2-5TFT—OLED制程—材質(zhì)為SUS、Ti，膜質(zhì)為有機(jī)化合物零部件修復(fù)工藝工藝流程簡(jiǎn)述：
①受入：對(duì)從客戶處取來的原始零部件進(jìn)行外觀、數(shù)量、材質(zhì)的確認(rèn)，受入的零部
件在客（略）由客戶自行拆解，本項(xiàng)目不涉及零部件拆解。
②有機(jī)浸泡：使用N-甲基吡咯烷酮（NMP）對(duì)受入的零部件進(jìn)行浸泡（浸泡時(shí)間
為1h），浸泡后使用純水進(jìn)行漂洗，（漂洗時(shí)間12min）。
③噴砂：噴砂是采用壓縮空氣為動(dòng)力，以形成高速噴射束將噴料高速噴射到需要處
理的工件表面，使工件表面的外表面的外表或形狀發(fā)生變化。由于磨料對(duì)工件表面的沖
擊和切削作用，使工件的表面獲得一定的清潔度和不同的粗糙度，從而使工件表面的機(jī)
械性能得到改善。項(xiàng)目噴砂工序使用的砂料為白剛玉（氧化鋁）。
④檢測(cè)：檢測(cè)前道工序加工是否合格，不合格返工，合格進(jìn)入下一道工序。
⑤高壓水洗：利用純水在高壓力（0.25MPa）下對(duì)零部件進(jìn)行水洗。
⑥干燥：清洗干凈的零部件進(jìn)入烘箱烘干，烘干溫度控制在150℃，干燥2h。
⑦包裝、出荷：干燥后的零部件進(jìn)行包裝，出荷送達(dá)到客戶。
212.半導(dǎo)體材料修復(fù)工藝流程
一、PVD/CVD制程材料修復(fù)工藝流程
1、材質(zhì)為Al，膜質(zhì)為TiAl、Ti、TiN零部件
圖2-6半導(dǎo)體—PVD/CVD制程—材質(zhì)為Al，膜質(zhì)為TiAl、Ti、TiN零部件修復(fù)工藝
工藝流程簡(jiǎn)述：
全過程均為物理工序。
①受入：對(duì)從客戶處取來的原始零部件進(jìn)行外觀、數(shù)量、材質(zhì)的確認(rèn)，受入的零部
件在客（略）由客戶自行拆解，本項(xiàng)目不涉及零部件拆解。
②超高壓水洗：利用超高壓水洗機(jī)噴出的超高壓自來水沖去零部件表面沉積的膜
2223
層。
③噴砂：噴砂是采用壓縮空氣為動(dòng)力，以形成高速噴射束將噴料高速噴射到需要處
理的工件表面，使工件表面的外表面的外表或形狀發(fā)生變化。由于磨料對(duì)工件表面的沖
擊和切削作用，使工件的表面獲得一定的清潔度和不同的粗糙度，從而使工件表面的機(jī)
械性能得到改善。項(xiàng)目噴砂工序使用的砂料為白剛玉（氧化鋁）。
④熔射：熔射是利用熱源將金屬（鋁線）熔化，并以一定速度噴射到基體表面形成
涂層的方法。
熔射的工作原理為：將兩條各自帶有正電負(fù)電的相同金屬線接觸產(chǎn)生電弧，瞬間產(chǎn)
生高熱將金屬線材融化。再經(jīng)高壓空氣吹細(xì)霧化，帶送吹向底材（或工件），堆積、凝
固成涂層或膜厚。熔射的材料為鋁線或陶瓷粉（Al
2
O
3
）。
⑤檢測(cè)：檢測(cè)前道工序加工是否合格，不合格返工，合格進(jìn)入下一道工序。
⑥超聲波清洗：檢測(cè)后需要經(jīng)過2道超聲波清洗（第二道清洗在潔凈室操作）。
⑦干燥：清洗干凈的零部件進(jìn)入烘箱烘干，烘干溫度控制在150℃，干燥2h。
⑧包裝、出荷：干燥后的零部件進(jìn)行包裝，出荷送達(dá)到客戶。24
3、材質(zhì)為SUS，膜質(zhì)為SiO
2
、TiN零部件
圖2-7半導(dǎo)體—PVD/CVD制程—材質(zhì)為SUS，膜質(zhì)為SiO
2
、TiN零部件修復(fù)工藝
工藝流程簡(jiǎn)述：
全過程均為物理工序。生產(chǎn)工藝對(duì)比“半導(dǎo)體—PVD制程---材質(zhì)為Al，膜質(zhì)為TiAl、
Ti、TiN零部件修復(fù)工藝”，減少了超高壓沖洗和熔射兩道工序，其余生產(chǎn)工序相同。3、材質(zhì)為Al，膜質(zhì)為TiN、SiOx、SiNx零部件
圖2-8半導(dǎo)體—PVD/CVD制程—材質(zhì)為Al，膜質(zhì)為TiN、SiOx、SiNx部件修復(fù)工藝
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