導讀
近期，中國科學院微電子研究所連續發布多項儀器設備采購意向，預算金額達28366萬元。
近期，中國科學院微電子研究所連續發布多項儀器設備采購意向，預算金額達28366萬元。涉及儀器設備包括全自動光學顯微鏡、刻蝕設備、X射線光電子能譜儀、等離子體增強化學氣相沉積設備、干法去膠機等。預計采購時間2025年3至6月。
采購意向只是政府采購的初步安排，具體采購情況以中國農業大學發布的采購公告和采購文件為準，有意向的企業可持續關注該校發布的招標信息。
中國科學院微電子研究所采購預算匯總
采購項目名稱：（略）
采購需求概況
預算金額（萬元）
預計采購日期
硅片
制備半導體器件，數量700片
150
2025年2月
4G-LTECat.1通信SOC芯片晶圓
4G-LTECat.1通信的SOC芯片及其配套的PMIC芯片，晶圓數量各1張
160
2025年3月
（略）與元器件
（略）與元器件
140
2025年3月
全自動光學顯微鏡
全自動光學顯微鏡1臺
150
2025年4月
（略）
（略）1臺
1500
2025年4月
激光發生裝置
激光發生裝置
130
2025年4月
12英寸槽式小尺寸高精度橫向濕法刻蝕設備
12英寸槽式小尺寸高精度橫向濕法刻蝕設備1臺
3800
2025年4月
（略）
（略）1臺
114
2025年4月
（略）
（略）1臺
115
2025年4月
三維集成封裝動態數字全息顯微分析儀
三維集成封裝動態數字全息顯微分析儀1臺
252
2025年5月
低溫變頻C-V測試設備
低溫變頻C-V測試設備
350
2025年5月
透射電子顯微鏡(TEM)、聚焦離子束顯微鏡(FIB)以及二次離子質譜(SIMS)等半導體測試分析
透射電子顯微鏡(TEM)、聚焦離子束顯微鏡(FIB)以及二次離子質譜(SIMS)等半導體測試分析
1000
2025年5月
離子刻蝕機
離子刻蝕機1臺
810
2025年5月
光譜檢測儀
日本橫河AQ6380光譜檢測儀1臺
100
2025年6月
低頻阻抗分析儀
低頻阻抗分析儀1臺
100
2025年6月
X射線光電子能譜儀
X射線光電子能譜儀
900
2025年6月
激光隱形切割成套設備
激光隱形切割成套設備
1000
2025年6月
12吋晶圓等離子劃片機
12吋晶圓等離子劃片機
1880
2025年6月
12吋晶圓級激光去膠開槽設備
12吋晶圓級激光去膠開槽設備
800
2025年6月
12吋晶圓級無機紅外拆鍵合設備
12吋晶圓級無機紅外拆鍵合設備
5300
2025年6月
翹曲測量儀
翹曲測量儀
620
2025年6月
12吋物理氣相沉積設備
12吋物理氣相沉積設備
2300
2025年6月
PVTC-A1比容量儀
PVTC-A1比容量儀
245
2025年6月
流片
流片50顆
100
2025年6月
（略）發生器
（略）發生器1臺
180
2025年6月
high-K介質電感耦合等離子體刻蝕設備
high-K介質電感耦合等離子體刻蝕設備1臺
900
2025年6月
干法去膠機
干法去膠機1臺
200
2025年6月
高深寬比橫向濕法刻蝕設備
高深寬比橫向濕法刻蝕設備1臺
1210
2025年6月
金屬及金屬氧化物原子層沉積設備
金屬及金屬氧化物原子層沉積設備1臺
1800
2025年6月
金屬及金屬氧化物電感耦合等離子體刻蝕設備
金屬及金屬氧化物電感耦合等離子體刻蝕設備1臺
860
2025年6月
等離子體增強化學氣相沉積設備
等離子體增強化學氣相沉積設備1臺
1200
2025年6月
（略）
微信：（略）